Machine CMP - Pcox 202 à 204
Prix à consulter
Quantité minimum: 1 Unité Catégorie: Equipement technique et industriel > Machines industrielles Contacter le fabricant
Description de Machine CMP - Pcox 202 à 204
ID produit: 236471
Avantages :
Prix
Evolutive par adjonction de module de polissage supplémentaire jusqu'à concurrence de 4 modules
Throughput et disponibilité exceptionnels
Simplicité et robustesse
Utilisation :
La gamme de machines CMP Pcox 20x a été conçue pour répondre aux besoins de gros volume des fabricants de semi-conducteurs en mettant l’accent sur les points suivants :
une adaptabilité maximum de l’équipement au process de l’utilisateur (silicium, oxyde de silicium, tungstène, cuivre)
une évolutivité complète de la machine elle-même, par l’ajout de modules de polissage à une machine existante
une capacité de production importante par l’adjonction à chaque tête de polissage de son propre système de handling
un uptime maximisé grâce à l’échange rapide du portoir de polissage, de l’outil de conditionnement et du plateau
une fiabilité accrue et une valeur de stock de pièces détachées réduite par l’usage multiple de composants identiques
un cost of ownership réduit.
La gamme de machine Pcox 20x avec sa conception modulaire, sa parfaite accessibilité pour les échanges de consommables et pour la maintenance, complétés par une technologie du CMP éprouvée procure des atouts majeurs à ses utilisateurs.
"Intelligence de votre process"
Le point de vue de l'utilisateur est à la base de la conception de nos machines.
* Échange de pad par échange du plateau :
Le remplacement du pad peut être réalisé par l’échange complet du plateau par un nouveau équipé d’un pad neuf. Cette action peut être exécutée en quelques minutes alors que la machine est en cours de polissage sur l’autre module.
Sur d’autre équipements de CMP, l’arrêt de la production pendant le vidage machine, puis le décollage de l’ancien pad, le nettoyage du plateau, le recollage du pad neuf et la préparation initiale du nouveau pad, entraîne un surcoût sensible de l’opération de CMP. Sur la Pcox, la préparation du pad, elle aussi, se fait alors que les autres modules produisent.
* Remise à neuf du portoir (carrier) et échange de l’outil de conditionnement.
Le démontage du carrier et de l’outil de conditionnement se fait aussi très rapidement grâce à l’utilisation d’un principe de baïonnette. Par l’utilisation d’un portoir et d’un outil de conditionnement supplémentaire, la remise à neuf des éléments de polissage ne prend que quelques minutes.
Spécifications :
Type de wafer :
200 mm à notch (flat en option)
Entrée/Sortie :
Dry-in / wet-out,
3 cassettes d’entrée/sortie
Cassettes immergées, avec mouvement vertical
Robot pour la sortie et le retour des wafers de la cassette avec prise sur les bords
Unité de transfert linéaire :
Transfert des wafers entre l’I/O et les modules de polissage par un robot
2 axes et prise sur les bords
Les modules de polissage :
Pcox 202 : 2 modules identiques à process indépendants
Pcox 203 : 3 modules identiques à process indépendants
Pcox 204 : 4 modules identiques à process indépendants
Chaque module comprend :
Prix
Evolutive par adjonction de module de polissage supplémentaire jusqu'à concurrence de 4 modules
Throughput et disponibilité exceptionnels
Simplicité et robustesse
Utilisation :
La gamme de machines CMP Pcox 20x a été conçue pour répondre aux besoins de gros volume des fabricants de semi-conducteurs en mettant l’accent sur les points suivants :
une adaptabilité maximum de l’équipement au process de l’utilisateur (silicium, oxyde de silicium, tungstène, cuivre)
une évolutivité complète de la machine elle-même, par l’ajout de modules de polissage à une machine existante
une capacité de production importante par l’adjonction à chaque tête de polissage de son propre système de handling
un uptime maximisé grâce à l’échange rapide du portoir de polissage, de l’outil de conditionnement et du plateau
une fiabilité accrue et une valeur de stock de pièces détachées réduite par l’usage multiple de composants identiques
un cost of ownership réduit.
La gamme de machine Pcox 20x avec sa conception modulaire, sa parfaite accessibilité pour les échanges de consommables et pour la maintenance, complétés par une technologie du CMP éprouvée procure des atouts majeurs à ses utilisateurs.
"Intelligence de votre process"
Le point de vue de l'utilisateur est à la base de la conception de nos machines.
* Échange de pad par échange du plateau :
Le remplacement du pad peut être réalisé par l’échange complet du plateau par un nouveau équipé d’un pad neuf. Cette action peut être exécutée en quelques minutes alors que la machine est en cours de polissage sur l’autre module.
Sur d’autre équipements de CMP, l’arrêt de la production pendant le vidage machine, puis le décollage de l’ancien pad, le nettoyage du plateau, le recollage du pad neuf et la préparation initiale du nouveau pad, entraîne un surcoût sensible de l’opération de CMP. Sur la Pcox, la préparation du pad, elle aussi, se fait alors que les autres modules produisent.
* Remise à neuf du portoir (carrier) et échange de l’outil de conditionnement.
Le démontage du carrier et de l’outil de conditionnement se fait aussi très rapidement grâce à l’utilisation d’un principe de baïonnette. Par l’utilisation d’un portoir et d’un outil de conditionnement supplémentaire, la remise à neuf des éléments de polissage ne prend que quelques minutes.
Spécifications :
Type de wafer :
200 mm à notch (flat en option)
Entrée/Sortie :
Dry-in / wet-out,
3 cassettes d’entrée/sortie
Cassettes immergées, avec mouvement vertical
Robot pour la sortie et le retour des wafers de la cassette avec prise sur les bords
Unité de transfert linéaire :
Transfert des wafers entre l’I/O et les modules de polissage par un robot
2 axes et prise sur les bords
Les modules de polissage :
Pcox 202 : 2 modules identiques à process indépendants
Pcox 203 : 3 modules identiques à process indépendants
Pcox 204 : 4 modules identiques à process indépendants
Chaque module comprend :
Opinions sur Machine CMP - Pcox 202 à 204
Vendeur de Machine CMP - Pcox 202 à 204
Alpsitec
Description de l'entreprise:
Que vous soyez industriel, chercheur ou universitaire, les solutions CMP ALPSITEC sont avant tout conçues pour vous aider à atteindre vos objectifs....
Adresse: Parc sud Galaxie, 7 rue des Tropiques - F-38130 - ECHIROLLES - (38) Isère - France
Actualisations de Machine CMP - Pcox 202 à 204
- Date de la mise en ligne du produit 19/06/2009
- 1 Visites reçues durant ce mois
- 2 Visites reçues depuis 6 mois
- 286 Visites reçues au total
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